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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 1,641 - 1,645 (5page)
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Transparent conductive oxides (TCOs) have been extensively used in optoelectronic device because of their high visible transmittance, low DC resistivity, high infra-red reflectance and absorbance in the microwave region. Zinc oxide is a direct wide-band 8ap II-VI n-type semiconductor material with the structure of wurtzite hexagonal structure. Zinc oxide has energy bandgap 3.37 eV and exciton binding energy of 60 meV at room temperature. We study using ZnO/Ag/ZnO films were deposited onto PET substrate at room temperature with the inclined opposite target type DC magnetron sputtering equipment. ZnO/Ag/ZnO multilayer films having high transmittance of 78.3% and low sheet resistance of 1.974 O/sq. are successfully fabricated and oan be reproduced by controlling the preparation process parameters properly.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
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