반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구

신용호 ,  서정원 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

반도체 생산 배취공정에서의 배취 크기의 결정

천길웅 ,  홍유신

대한산업공학회지

1996 .06

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

이용일 ,  배남진

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .03

반도체 제조공정에서의 입자제어

정재인

기계저널

2012 .05

반도체 제조공정의 자동화 기술 동향

이치열 ,  최낙만

전자공학회지

1987 .08

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용

박현열

공기청정기술

2006 .01

생산 라인에서의 실시간 배치 크기 결정

나기현 ,  김민제 ,  이종환

산업경영시스템학회지

2019 .01

반도체 제조공정의 오염제어기술 및 사례

서동량

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1993 .11

데이터 기반의 핵심 반도체 제조 공정 선정에 관한 연구

양진경 ,  이동희 ,  이초희 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2017 .11

반도체 제조공정의 조립자동화 기술

변증남 ,  유범재 ,  오상록 외 1명

전기의세계

1990 .06

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2005 .03

반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화

구평회 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

1998 .07

$SnO_2$양극을 이용한 전기화학적 금속전환 mock-up(5 kg $U_3O_8$/batch) 시험

오승철 ,  홍순석 ,  이원경 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2004 .01

반도체 공정자동화 사례분석

허충호

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .06

레이저를 이용한 반도체공정

최웅림 ,  구자강 ,  권오대

대한전자공학회 워크샵

1989 .01