인덕션 방식을 이용한 평면 스테이지의 동특성 개선

정광석; 박준규; 김효준

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정광석 (충주대학교) 박준규 (충주대학교) 김효준 (강원대학교)

저널정보: 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제15권 제7호

발행연도: 2009.7

수록면: 675 - 682 (8page)

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Instead of direct driving like BLDC, the induction principle is adopted as a driving one for planar stage. The stage composed of four linear induction motors put in square type is activated by two-axial forces; low-frequency attractive force and thrust force of the linear induction motors. Here, the modified vector control whose new inputs are q-axis current and de current biased to three phase current instead of d-axis current or flux current is applied extensively to overall motion of the stage. For the developed system, the precision step test and the constant velocity test are tried to guarantee its feasibility for TFT-LCD pattern inspection. However, to exclude a discontinuity due to phase shift and minimize a force ripple synchronized with the command frequency, the initial system is revised to the antagonistic structure over the full degree of freedom. Concretely describing, the porous air bearings guide an air-gapping of the stage up and down and a pair of liner induction motors instead of single motor are activated in the opposite direction each other. The performances of the above systems are compared from trapezoid tracking test and sinusoidal test.

#bias feeding #linear induction motor #planar stage #vector control

참고문헌 (14)

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1. [보고서] - / 2007 / TFT-LCD Equipment Report

2. [보고서] - 한혁 / 2006 / “평판디스플레이 요소장비 - LCD 장비,” KISTI TCI report

3. [학술지(정기간행물)] - W. Gao / 2004 / A surface motor-driven planar motion stage integrated with an XYθz surface encoder for precision positioning / Precision Engineering 28 : 329 ~ 337

4. [보고서] - 지식경제부 / 2008 / 디지털 노광장비 핵심 기술 개발 기획 보고서

5. [학술대회논문] - Y. Ogino / 1993 / High performance control in ultra-low speed range of inverter-fed linear induction motor using vector control scheme / Proc. of the 5th Conf. Power Electronics and Applications : 464 ~ 467

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