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이용수
Abstracts
1. Introduction
2. Faults under partial observation
3. Plasma etching system using EPD
5. Conclusions
References
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EPD 신호검출에 의한 플라즈마식각공정의 이상검출
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
Fault-Tolerant Robust Supervisor for Timed Discrete Event Systems
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
플라즈마 식각공정에서의 EPD(End Point Detection) 제어기에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
EPD 신호궤적을 이용한 플라즈마 식각공정의 실시간 이상검출
제어로봇시스템학회 논문지
1998 .04
선형 이산 - 시 시스템의 Fault - Tolerant 제어기 설계 ( Design of a Fault - Tolerant controller for Linear Discrete - time Systems )
한국통신학회 학술대회논문집
1987 .01
전자개인선량계(EPD)의 외부피폭방사선량 평가 성능분석
방사선방어학회지
2015 .01
FTCS(Fault Tolerant Control System)의 개발에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1987 .10
FTCS ( Fault Tolerant Control System ) 의 개발에 관한 연구 ( A Study on the Development of a Fault Tolerant Control System )
대한전자공학회 학술대회
1987 .01
Robust Fault-Tolerant Control for Robotic Systems
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1998 .10
액츄에이터 고장을 고려한 비선형 시간지연시스템의 H∞ 고장허용제어
신뢰성응용연구
2012 .09
다중 채널 EPD제어기의 개발
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출
제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집
1998 .03
EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출 ( Wafer to Wafer Malfunction Detection using EPD Signal )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Fault Tolerant 분산 다중 프로세서 시스템의 설계 ( Design of a Fault Tolerant Distributed Multiprocessor System )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
Time-Services Hardware Support in Fault-Tolerant Real-Time Systems
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
Designing Fault Tolerant Software In Real-Time Distributed Computer Systems
대한전자공학회 기타 간행물
1992 .01
Flexible Microelectronics; High-Resolution Active-Matrix Electrophoretic Displays
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출에 관한 연구
제어로봇시스템학회 논문지
1998 .08
Fault-Tolerant 실시간 메시지 중계시스템 구현
한국통신학회 학술대회논문집
2006 .07
Observer-based Fault Tolerant Control for Constrained Switched Systems
International Journal of Control, Automation, and Systems
2007 .12
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