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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1998.8
- 수록면
- 506 - 516 (11page)
이용수
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목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 플라즈마 반도체 식각공정
Ⅲ. 개별 웨이퍼간 상태 예측
Ⅳ. 실험 및 결과 고찰
Ⅴ. 결론
참고문헌
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
, 2002. , LMI approach to digital redesign of linear time-invarint systems 149 (4) : 297 ~ 302
, 2003. , An efficient observer-based sampled-data control: Digital redesign approach 50 (12) : 1595 ~ 1601
, 1999. , Hybrid state-space fuzzy model-based controller with dual-rate sampling for digital control of chaotic systems 7 (4) : 394 ~ 408
, 2002. , Design of sampled-data fuzzy-model-based control systems by using intelligent digital redesign 49 (4) : 509 ~ 517
, 2004. , A new intelligent digital redesign for T-S fuzzy systems: Global approach 12 (2) : 274 ~ 284
, 2003. , An efficient observer-based sampled-data control: Digital redesign approach 50 (12) : 1595 ~ 1601
, 1999. , Hybrid state-space fuzzy model-based controller with dual-rate sampling for digital control of chaotic systems 7 (4) : 394 ~ 408
, 2002. , Design of sampled-data fuzzy-model-based control systems by using intelligent digital redesign 49 (4) : 509 ~ 517
, 2004. , A new intelligent digital redesign for T-S fuzzy systems: Global approach 12 (2) : 274 ~ 284
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