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권상주 (한국항공대학교) 박찬식 (삼성전자) 이상무 (한국생산기술연구원)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제14권 제4호
발행연도
2008.4
수록면
369 - 375 (7page)

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The kinematics and control problem of a visual alignment system is investigated, which plays a crucial role in the fabrication process of flat panel displays. The first solution is the inverse kinematics of a 4PPR parallel alignment mechanism. It determines the driving distance of each joint to compensate the misalignment between mask and panel. Second, an efficient vision algorithm for fast alignment mark recognition is suggested, where by extracting essential feature points to represent the geometry of a mark, the geometric template matching enables much faster object recognition comparing with the general template matching. Finally, the overall visual alignment process including the kinematic solution, vision algorithm, and joint control is implemented and experimental results are given.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 비전 정렬 시스템
Ⅲ. 4PPR 정렬 스테이지의 기구학
Ⅳ. 정렬 마크 인식을 위한 비전 알고리즘
Ⅴ. 정렬 오차 보상을 위한 스테이지 제어
Ⅵ. 실험 결과
Ⅶ. 결론
참고문헌

참고문헌 (13)

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