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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
정해민 (STX조선해양 연구소) 황재웅 (한국항공대학교) 권상주 (한국항공대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제16권 제12호
발행연도
2010.12
수록면
1,233 - 1,240 (8page)

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In the flat panel display and semiconductor industries, the visual alignment system is considered as a core technology which determines the productivity of a manufacturing line. It consists of the vision system to extract the centroids of alignment marks and the stage control system to compensate the alignment error. In this paper, we develop a Kalman filter algorithm to estimate the alignment mark postures and propose a coarse-fine alignment control method which utilizes both original fine images and reduced coarse ones in the visual feedback. The error compensation trajectory for the distributed joint servos of the alignment stage is generated in terms of the inverse kinematic solution for the misalignment in task space. In constructing the estimation algorithm, the equation of motion for the alignment marks is given by using the forward kinematics of alignment stage. Secondly, the measurements for the alignment mark centroids are obtained from the reduced images by applying the geometric template matching. As a result, the proposed Kalman filter based coarse-fine alignment control method enables a considerable reduction of alignment time.
#flat display industry #visual alignment robot #pyramid image #coarse-fine control #alignment mark

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 비전 정렬 시스템의 구성 및 절차
Ⅲ. 정렬오차 실시간 추정 필터 설계
Ⅳ. 오차 추정 필터에 기반한 비전 정렬 기법
Ⅴ. 실험 결과
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

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2. [학술지(정기간행물)] - 정해민 / 2009 / 여유 구동 병렬기구를 이용한 마스크_패널 얼라인 로봇 시스템 / 제어.로봇.시스템학회 논문지 15 (9) : 887 ~ 893 dbpia 3. [단행본] - R. C. Gonzalez / 2002 / Digital Image Processing / Prentice-Hall google schola 4. [단행본] - E. Gose / 1996 / Pattern Recognition and Image Analysis / Prentice-Hall google schola 5. [학술대회논문] - C. S. Park / 2006 / An efficient vision algorithm for fast and fine mask-panel alignment / Proc. of 2006 SICE-ICASE International Joint Conference (SICE-ICCAS 2006) : 1461 ~ 1465 google schola 6. [단행본] - M. S. Grewal / 2001 / Kalman Filtering: Theory and Practice Using Matlab / Wiley Inter-science google schola

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