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저자정보
김병규 (연세대학교) 고종명 (연세대학교) 김창욱 (연세대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2010년 대한산업공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
177 - 182 (6page)

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반도체 제조 설비에 부착된 센서들은 압력, 온도, 기체의 유입과 같은 웨이퍼 제조에 필수적인 공정 변수들을 실시간으로 모니터링 한다. 설비 센서로부터 얻어지는 시계열 데이터는 일정한 패턴을 그리며 만약 설비에 이상이 생길 경우 비정상적인 구조 패턴을 나타내게 된다. 따라서 정상의 기준이 되는 레퍼런스 패턴과 수집된 패턴과의 구조적 유사도는 이상 판단의 중요한 단서가 된다. 하지만 수집된 시계열 데이터는 불필요한 잡음과 길이 변동성과 문제를 갖기 때문에 이상 진단을 부정확하게 할 수도 있다. 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 잡음 제거와 비선형 패턴 매칭을 수행한다. 또한 최종적으로 반도체 제조 공정의 이상 진단을 정확하게 수행하는 다변량 이상 진단 모델을 제안한다. 제안한 모델 검증은 반도체 예칭 설비에서 수집된 데이터를 활용하여 진행하였으며, 정확한 이상 진단 결과를 보여주었다.

목차

Abstract
1. 서론
2. 온라인 이상 진단 모델의 개발
3. 제안 모델의 검증
4. 결론
5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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