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이용수
Abstract
1. 서론
2. 모델링
3. 제어기 설계
4. 모의실험
5. 결론
참고문헌
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SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1988 .10
Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
비 선형 요소를 갖는 정전 마이크로 구동기의 외란 관측기에 기초한 디지털 추종 제어기 설계
전기학회논문지 A
1999 .06
An Electrostatic Polysilicon Actuator for Micro-Motors
대한전자공학회 세미나
1992 .01
상변화를 이용한 Micro-actuator에 대한 해석 ( Analysis on Phase-Change Based Micro-actuator )
대한기계학회 춘추학술대회
2000 .01
MODERN ELECTROSTATICS FOR HIGH-TECHNOLOGIES
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .11
Flutter Characteristics of Aircraft Wing Considering Control Surface and Actuator Dynamics with Friction Nonlinearity
International Journal of Aeronautical and Space Sciences
2007 .05
마이크로 액추에이터의 실제 거동에 대한 FEA 시뮬레이션
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .01
인텔리수트를 이용한 마이크로 미러 구동기의 디자인
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
3차원 유한요소법을 이용한 Micro positioning actuator의 설계 및 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .04
P⁺ 박막을 전극으로 한 정전형 마이크로 구동기의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Micro Sensors & Actuators Lab.
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .10
Vibration Control of a Micro-Actuator for the Hard Disk Drive using Self-Sensing Actuation
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2008 .10
마이크로 펌프용 정전형 구동기와 수동형 밸브의 제작 ( Fabrication of an Electrostatic Actuator and Passive Valves for Micro-pumps )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
재해분석을 통한 정전기 안전관리 수준 향상 방안 연구
한국안전학회지
2019 .01
산업용 잉크젯 플로터의 정전기 해석 및 차폐
전기학회논문지 B
2006 .03
압전 구동기의 반복 추종제어 ( Repetitive Tracking Control of a Piezoelectric Actuator )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Correlation between Ultrasonic Nonlinearity and Elastic Nonlinearity in Heat-Treated Aluminum Alloy
비파괴검사학회지
2017 .04
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