Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

An Electrostatic Polysilicon Actuator for Micro-Motors

Te ,  unobu Akiyama

대한전자공학회 세미나

1992 .01

HF 증기상 식각과 열처리를 이용한 다결정 규소 미세 구조체의 제작

박경호 ,  이춘수 ,  정영이 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS

Kwee-bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1988 .10

Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots

Kwee Bo Sim ,  Hideki Hashimoto ,  Hi 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Nonlinearity를 갖는 Micro Electrostatic Actuator의 초정밀 추종제어

김경한 ,  최현택 ,  서일홍 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

Effect of Dissolved Oxygen and Oxygen Scavenger on the Etch Rate of Polysilicon

Kyong-Ho Lee ,  T ,  an Viet Cuong 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2020 .02

Novel Fabrication of Comb Drive Actuator Using RIE of Polysilicon and ( 110 ) Si Anistropic Bulk Etching in KOH

Hyung Taek Lim ,  Yong Kweon Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

상변화를 이용한 Micro-actuator에 대한 해석 ( Analysis on Phase-Change Based Micro-actuator )

정재동 ,  M. Kaviany

대한기계학회 춘추학술대회

2000 .01

Fabrication and Characteristics of a Polysilicon Resistor with Low Temperature Coefficient

이태우 ,  노태문 ,  김천수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

결로의 메카니즘에 대한 연구

박우근

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1998 .06

컨벡터를 적용한 열유동 해석에 관한 연구

박우근

한국건축친환경설비학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성 분석

이종현 ,  이창승 ,  이재열 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1996 .06

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

P⁺ 박막을 전극으로 한 정전형 마이크로 구동기의 제작

한상우 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

The Fabrication of Polysilicon Nano-Structure using Thin Film Stress and LOCOS Process

박동일 ,  박순수 ,  이형일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01