실리콘 펜듈럼 서어보 가속도계의 제작 및 성능 평가

서재범 ,  심규민 ,  문홍기 외 2명

한국항공우주학회지

1997 .10

서어보 가속도계용 실리콘 펜듈럼 설계

이관섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

관성 항법 장치급 서보 가속도계용 다단차 3차원 실리콘 미세 구조물 제작

이주영 ,  이상훈 ,  전국진 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

정밀 위치제어 서보시스템의 성능 평가

이원희 ,  김동수 ,  최병오

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

고온용 3차원 실리콘 가속도센서

손미정 ,  서희돈

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

초정밀서보기구의 제어성능 평가(1)

김재열 ,  김영석 ,  곽이구 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

초정밀서보기구의 제어성능 평가 (Ⅱ)

김재열 ,  김영석 ,  곽이구 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .05

ABS의 견실 H^∞ 서보 제어기 설계에 관한 연구

최종환 ,  황이철 ,  이진걸

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

고정도 제어 시스템 구성을 위한 서보 모듈의 구성 ( A Study on the Realization of Servo Module for High Precision Servo System )

정호채 ,  정화자 ,  여인택

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

홀로그래팩 정보저장기기의 트래킹 서보 제어를 위한 서보 패턴 연구

정우영 ,  김낙영 ,  임성용 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

Networked servo motor control systems

Young Soo Suh ,  Chang Won Lee ,  Hong Hee Lee 외 1명

정보 및 제어 논문집

2004 .05

집적화된 실리콘 압력센서의 제작 ( Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor )

이보나 ,  이영준 ,  정승민 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .06

광 픽업 장치의 H_∞ 위치 서보제어

임승철 ,  김윤영

한국소음진동공학회 학술대회논문집

1996 .05

(110) 실리콘의 모퉁이 보상 및 이를 이용한 가속도계 감지부 구조물의 제작

金炳旭 ,  한아름 ,  李尙禹 외 3명

전기학회논문지

1997 .10

전기유압 서보시스템의 성능개선에 관한 연구

정영우 ,  박성환 ,  이진걸

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구

제우성 ,  정귀상

제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집

1998 .12

50 톤급 기계식 서보프레스의 성능구현 실험에 관한 연구

강재훈 ,  김동현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06