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실리콘 펜듈럼 서어보 가속도계의 제작 및 성능 평가
한국항공우주학회지
1997 .10
위치제어용 가속도계의 Silicon Pendulum 설계및제작에 관한연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
실리콘 펜듈럼 서보 가속도계의 제작 및 성능 평가
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1996 .10
MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
1998 .12
고온용 3차원 실리콘 가속도센서
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
단일 가속도 센서에 의한 모바일 역진자 제어
제어로봇시스템학회 논문지
2010 .05
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure
전기학회논문지
1994 .06
MEMS 3축 가속도 센서의 Calibration에 관한 실험적 연구
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
MEMS 3축 가속도 센서의 Calibration에 관한 실험적 연구
대한전자공학회 학술대회
2007 .07
( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
구조물의 진동 및 동적변위 측정을 위한 서어보 가속도계 개발 및 성능평가에 관한 고찰
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2018 .04
Design of control method to rotate pendulum
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
Anisotropic Etching Property on Porous Silicon Formation
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
신경망 예측기를 이용한 인버티드 펜듈럼의 제어
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
모델차수축소기법을 이용한 고충격 실리콘 미소가속도계의 과도응답해석
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2005 .03
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