집적화된 실리콘 압력센서의 제작 ( Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor )

이보나; 이영준; 정승민; 이문기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이보나 이영준 정승민 이문기

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제30권 제6호

발행연도: 1993.6

수록면: 459 - 467 (9page)

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