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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.12
- 수록면
- 694 - 699 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (8)
2013
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치 성능 평가
구영모
,
이규호
정보 및 제어 논문집
2013.10
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치 성능 평가
구영모
,
이규호
대한전기학회 학술대회 논문집
2013.10
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치
구영모
,
이규호
한국지능시스템학회 논문지
2013.08
학술저널
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 검사
구영모
,
이규호
대한전기학회 학술대회 논문집
2013.07
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치
구영모
,
이규호
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2013.04
학술대회자료
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반도체 검사 공정에 적용하기 위한 대시야 백색광간섭계(WSI ; White Light Scanning Interferometer)를 사용한 반도체 검사 결과를 본 논문에서 제시한다. 각 서브스트레이트에 있는 동일한 여러 범프에 대한 3D 데이터 반복성 측정 실험 결과를 제시한다. 각 서브스트레이트의 모든 범프에 대한 3D 데이터 반복성 측정 실험 결과를 제시한다. 반도체 검사 공정에서 3D 데이터 검사를 고속으로 달성하기 위해 대시야 백색광간섭계를 사용한 반도체 검사는 매우 중요한 의미를 갖는다. 인라인 고속 3D 데이터 검사기 개발에 본 논문이 크게 기여할 수 있다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 간섭계 구성
3. 시스템 구성
4. 실험 결과
5. 결론
References
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 구영모 / 2009 / Mobile용 TFT-LCD 화면 검사장비 개발 / 한국지능시스템학회 논문지 19 (2) : 259 ~ 264
2. [학술대회논문] - S. Y. Cho / 2006 / A Study of White Light Interferometry Algorithm and consist of large area Optical System for Wafer Inspection / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 7 ~ 8
3. [학술대회논문] - K. C. Ko / 2007 / Development of three-Dimension Inspection equipment for Inspection of BGA / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 61 ~ 62
4. [학술대회논문] - D. K. Lee / 2007 / A Fast Algorithm of White light Scanning Interferometry(WSI) for a Semiconductor Defect Inspection / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 63 ~ 64
5. [학술지(정기간행물)] - Kuk-Won Ko / 2007 / Pole Height Inspection on LCD Glass via High Speed White Light Light Interferometry / Journal of the Korean Society of Precision Engineering 24 (4) : 21 ~ 28
2. [학술대회논문] - S. Y. Cho / 2006 / A Study of White Light Interferometry Algorithm and consist of large area Optical System for Wafer Inspection / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 7 ~ 8
3. [학술대회논문] - K. C. Ko / 2007 / Development of three-Dimension Inspection equipment for Inspection of BGA / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 61 ~ 62
4. [학술대회논문] - D. K. Lee / 2007 / A Fast Algorithm of White light Scanning Interferometry(WSI) for a Semiconductor Defect Inspection / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 63 ~ 64
5. [학술지(정기간행물)] - Kuk-Won Ko / 2007 / Pole Height Inspection on LCD Glass via High Speed White Light Light Interferometry / Journal of the Korean Society of Precision Engineering 24 (4) : 21 ~ 28
이 논문의 저자 정보
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