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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.8
- 수록면
- 286 - 291 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (8)
2013
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치 성능 평가
구영모
,
이규호
정보 및 제어 논문집
2013.10
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치 성능 평가
구영모
,
이규호
대한전기학회 학술대회 논문집
2013.10
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치
구영모
,
이규호
한국지능시스템학회 논문지
2013.08
학술저널
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 검사
구영모
,
이규호
대한전기학회 학술대회 논문집
2013.07
학술대회자료
대시야 백색광 간섭계를 이용한 Flip Chip Bump 3차원 검사 장치
구영모
,
이규호
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2013.04
학술대회자료
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대시야 백색광간섭계(WSI ; White Light Scanning Interferometer)를 이용하여, Flip Chip Bump 검사 공정에 적용하는 것을 목적으로 한 인라인 형태의 플립칩 범프 3차원 검사 장치를 개발한다. 여러 서브스트레이트에 있는 플립칩 범프 높이 측정 결과와 이에 의한 동일한 여러 범프에 대한 반복성 측정 실험 결과를 제시한다. 테스트 벤치에서의 실험 결과와 개발된 플립칩 범프 3차원 검사 장치에서의 실험 결과를 비교하였으며 진동의 영향이 감소되어 개선된 반복성 실험 결과를 얻을 수 있었다. 플립칩 범프 3차원 검사 장치의 검사성능을 평가할 수 있는 기준을 제시한다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성
3. 실험 결과
4. 결론
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Sally Cole Johnson / 2011 / 'Insatiable demand' drives flip chip package growth / 3D Packaging (19) : 6 ~ 9
2. [학술지(정기간행물)] - 구영모 / 2009 / Mobile용 TFT-LCD 화면 검사장비 개발 / 한국지능시스템학회 논문지 19 (2) : 259 ~ 264
3. [학술대회논문] - Y. M. Koo / 2012 / Semiconductor Package Inspection using White Light Interferometer with Large F.O.V / Proceedings of KIEE Summer Conference 2012 : 2012 ~ 1437
4. [학술대회논문] - J. H. You / 2007 / Meso-scale surface meaurement using the low-coherence interferometry / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 43 ~ 44
6. [학술대회논문] - J. You / 2008 / Fast and large-area measurement for a microscopic surface / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 735 ~ 736
2. [학술지(정기간행물)] - 구영모 / 2009 / Mobile용 TFT-LCD 화면 검사장비 개발 / 한국지능시스템학회 논문지 19 (2) : 259 ~ 264
3. [학술대회논문] - Y. M. Koo / 2012 / Semiconductor Package Inspection using White Light Interferometer with Large F.O.V / Proceedings of KIEE Summer Conference 2012 : 2012 ~ 1437
4. [학술대회논문] - J. H. You / 2007 / Meso-scale surface meaurement using the low-coherence interferometry / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 43 ~ 44
6. [학술대회논문] - J. You / 2008 / Fast and large-area measurement for a microscopic surface / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 735 ~ 736
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