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이경훈 (부산대학교) 김진우 (부산대학교) 황대원 (부산대학교) 김종현 (포항가속기 연구소) 장석상 (포항가속기 연구소) 김병민 (부산대학교)
저널정보
한국소성·가공학회 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2009년도 한국소성가공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
387 - 390 (4page)

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This study was designed to fabricate the micro-electro-mechanical systems (MEMS) parts such as micro spur gears using hot extrusion of gas atomized Al-78Zn powders. For this purpose, it is important to develop new methods to fabricate micro-dies and choose suitable extrusion conditions for a micro-forming. Micro-dies with Ni were fabricated by LIGA technology. LIGA technology was capable to produce micro-extrusion dies with close tolerances, thick bearing length and adequate surface quality. Superplastic Al-78Zn powders have the great advantage in achieving deformation under low stresses and exhibiting good micro formability with average strain rates ranging from 10<SUP>-3</SUP> to 10<SUP>-2</SUP> s<SUP>-1</SUP> and constant temperatures ranging from 503 to 563K. Al-78Zn powders were compacted into a cylindrical shape (Φ3xh10) under compressive force of 10kN and, subsequently, the compacted powders were extruded at 563K in a hot furnace. Micro-extrusion has succeeded in forming micro-gear shafts.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 논의
4. 결론
후기
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