메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조재승 (한국산업기술대학교) 강형범 (프로톰) 윤혜진 (프로톰) 김효진 (프로톰) 임현우 (프로톰) 조시형 (한양대학교) 임실묵 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제46권 제3호
발행연도
2013.6
수록면
99 - 104 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The simple and cost-effective microfabrication method of photosensitive glass (PSG) using metal patterning and blank exposure was proposed. Conventional photolithography for micromachining of PSG needs a costly quartz mask which has high transmittance as an optical property. However, in this study the process was improved through the combination of micro-patterned Ti thin film and blank UV exposure without quartz mask. The effect of UV exposure time as well as the DHF etching condition was investigated. UV exposure test was performed within the range from 3 min to 9 min. The color and etch result of PSG exposed for 5 min were the most clear and effective to etch more precisely, respectively. The etching results of PSG in diluted hydrofluoric acid (DHF) with a concentration of 5, 10, 15 vol% were compared. The effect on the side etch was insignificant while the etch rate was proportional as the concentration increased. 10 vol% DHF results not only high etch rate of 75 μm/min also lower side etch value after PSG etching. This method facilitates the microfabrication of PSG with various patterns and high aspect ratio for applying to advanced applications.
#Photosensitive glass(PSG) #Blank exposure #Microfabrication #Glass etching

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - H. Becker / 2002 / / Sens. Actuators B 86 : 271 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - F. E. Livingston / 2005 / / Appl. Surf. Sci 247 : 526 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - T. T. Dietrich / 1996 / / Microelectron. Eng 30 : 497 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - M. Kösters / 2005 / / Appl. Opt 44 : 3399 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. D. Stookey / 1953 / / Ind. Eng. Chem 45 : 115 ~ google schola

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

고려시기 잡상 연구
조원창 지방사와 지방문화 2013 .05
김기택 시에 나타난 육식의 윤리와 아이러니
홍기정 문학과환경 2013 .06
축대칭 초음속 흡입구 주위의 저주파수 및 고주파수 버즈(Buzz)에 대한 수치모사
곽인근 ,  이남훈 ,  공효준 외 1명 한국전산유체공학회지 2013 .06
도시형 자기부상열차 대차 프레임의 피로강도 평가
한정우 ,  김흥섭 ,  방제성 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2013 .07
광섬유 브래그 격자 센서를 이용한 복합재 외팔보의 형상 모니터링
이건호 ,  김대현 대한기계학회 논문집 A권 2013 .07

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-580-003340585