Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

“누구나 달릴 수 있습니다”

정영수

콘크리트학회지

2003 .07

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구

유경한 ,  이송재 ,  소대화 외 1명

한국정보통신학회논문지

2005 .11

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

도광판의 간격이 Chlorella vulgaris 증식에 미치는 영향

최희정 ,  이승목 ,  유성환

대한환경공학회지

2014 .03

Reactive Ion Etching 된 단일층 그래핀의 표면특성 분석

손영준 ,  전경용 ,  한창수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching

M. I ,  annejad ,  W. Alyalak 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

고속 열처리공정 시스템의 퍼지 Run-by-Run 제어기 설계

이석주 ,  우광방

제어로봇시스템학회 논문지

2000 .01

Hierarchical Support Vector Machines 을 이용한 얼굴 검출

서진 ,  고한석

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

고속 열처리 공정 시스템의 퍼지 Run-by-Run 제어기 설계

이석주 ,  우광방

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

직접광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The reactive ion etching of silica film with high selectivity for integrated optical device production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

집적광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The Reactive ion Etching of Silica film with High Selectivity for Integrated Optical Device Production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1997 .01

Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

An Application of Support Vector Machines for Fault Diagnosis

Pham Minh Hai ,  Tu Minh Phuong

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2004 .08

Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors

양정모 ,  김희연 ,  박재홍

센서학회지

2015 .01

플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성

김형석 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01