Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Cylindrical Magnetron을 사용한 실리콘의 반응성 이온 건식식각의 특성에 관한 연구

염근영

한국재료학회지

1993 .01

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

A Study on Modified Silicon Surface after CHF3/C2F6 Reactive Ion Etching

Hyung-Ho Pa ,  k ,  Kwang-Ho Kwon 외 7명

[ETRI] ETRI Journal

1994 .02

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Reactive Ion Etching 된 단일층 그래핀의 표면특성 분석

손영준 ,  전경용 ,  한창수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching

M. I ,  annejad ,  W. Alyalak 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

직접광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The reactive ion etching of silica film with high selectivity for integrated optical device production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

집적광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The Reactive ion Etching of Silica film with High Selectivity for Integrated Optical Device Production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1997 .01

Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors

양정모 ,  김희연 ,  박재홍

센서학회지

2015 .01