지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1992.1
- 수록면
- 59 - 60 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1992
$O_2$ plasma and thermal effects for removal of damaged layer formed by reactive ion etching
박형호
,
권광호
,
곽병호
외 2명
한국재료학회 학술발표대회
1992.01
학술대회자료
Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching
박형호
,
권광호
,
곽병화
외 3명
한국재료학회 학술발표대회
1992.01
학술대회자료
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Plasma and Reactive Ion Etching
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
-
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
-
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
-
Reactive Ion Etching 된 단일층 그래핀의 표면특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
-
Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
-
직접광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The reactive ion etching of silica film with high selectivity for integrated optical device production )
한국통신학회 기타 간행물
1997 .01
-
집적광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The Reactive ion Etching of Silica film with High Selectivity for Integrated Optical Device Production )
대한전자공학회 기타 간행물
1997 .01
-
Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam
OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE
1997 .01
-
Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구
한국정보통신학회논문지
2005 .11
-
플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
-
RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
-
A Study on Modified Silicon Surface after CHF3/C2F6 Reactive Ion Etching
[ETRI] ETRI Journal
1994 .02
-
RF Cylindrical Magentron 의 제조 및 이의 Reactive Ion Etching에 대한 응용
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
-
Characterization of Via Etching in CHF3/CF4 Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Using Neural Networks
[ETRI] ETRI Journal
2002 .06
-
Cylindrical Magnetron을 사용한 실리콘의 반응성 이온 건식식각의 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1993 .01
-
Support Vector Machine을 이용한 Reactive Ion Etching의 Run-to-Run 오류검출 및 분석
한국정보통신학회논문지
2006 .05
-
Cl/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
공업화학
2007 .01
-
Reactive Ion Etching 에 의한 ITO / 반도체 및 ITO / BaTiO3 구조의 선택적 에칭 특성 ( Selective Etching Characteristics of ITO / Semiconductor and ITO / BaTiO3 Structures by Reactive Ion Etching )
전자공학회논문지-A
1995 .01
-
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0