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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
378 - 381 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2015

The Surface Passivation of Hydrogenated Amorphous Silicon(a-Si:H) for a-Si:H/c-Si Hetero Junction Solar Cells
지광선 신소재공 2015.01 학위논문

2008

Spectroscopic Ellipsometer를 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 박막 분석
지광선 ,  어영주 ,  김범성 외 2명 신·재생에너지 2008.06 학술저널
Spectroscopic Ellipsometer를 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 박막 분석
지광선 ,  어영주 ,  김범성 외 2명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2008.05 학술대회자료

초록· 키워드

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고효율 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지를 얻기 위해서는 우수한 c-Si wafer 위에 고품질의 비정질 실리콘박막을 통한 heterointerface를 형성하는 것이 매우 중요하다. 이를 달성하기 위해서는 공정중에 오염되기 쉬운 Si wafer 표면 상태를 정확히 검사하고 잘 관리하여야 한다. 본 연구에서는 세정 및 표면산화에 따른 Si wafer 상태를 Spectroscopic Ellipsometry 및 u-PCD를 이용하여 분석하였으며, <varepsilon2> @4.25eV 값이 Si wafer 상태를 잘 나타내고 있음을 확인하였고 세정 최적화 할 경우 그 값이 43.02에 도달하였다. 또한 RF-PECVD로 증착된a-Si:H 박막을 EMA 모델링을 통해 분석한 결과 낮은 결정성과 높은 밀도를 가지는 a-Si:H를 얻을 수 있었으며, 이를 이종접합 태양전지에 적용한 결과 Flat wafer상에서 10.88%, textured wafer 적용하여 13.23%의 변환효율을 얻었다. 결론적으로 Spectroscopic Ellipsometry가 매우 얇고 고품질의 다층 박막이 필요한 이종접합 태양전지 분석에 있어 매우 유용한 방법임이 확인되었다.
#이종접합 #비정질 실리콘 #편광타원분석기 #태양전지 #에피성장 #Heterojunction #Amorphous Si #Ellipsometry #Solar cell #EMA #Epitaxial growth

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