지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
CF₄/O₂ 혼합가스 플라즈마 환경에 대한 AAO (Anodic Aluminum oxide) 피막의 오염입자 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Fluorine Plasma Corrosion Resistance of Anodic Oxide Film Depending on Electrolyte Temperature
Applied Science and Convergence Technology
2018 .01
Structural change of anodic oxide films on aluminum alloys by exposing to NF₃ plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
삼불화질소의 플라즈마 반응성 이온 식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
반도체/디스플레이 장비용 고내플라즈마성 알루미늄 산화 피막 개발을 위한 다공성 나노구조 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
ICP 식각 공정에서의 컨택홀의 기울어진 식각 프로파일
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합 플라즈마 식각 장치에서 소스 및 바이어스 전력에 따른 식각 속도 분포 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Atomin layer Deposition of Al₂O₃ Thin Film on Anodic Aluminum Oxide for Fabrication of Standard Leak Element
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
0