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실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1986 .12
CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
고선택비 산화막 식각공정시 실리콘 표면에 형성된 잔류막 제거와 후속 실리사이드 형성에 미치는 영향에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물의 순환형 식각 공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
Nano composite particles synthesis by thermal plasma
한국에너지학회 학술발표회
2011 .04
비평형 저온 플라즈마에 의한 탈취 기술
공기청정기술
2004 .01
통계적 실험계획법을 이용한 HDP-CVD로 증착된 실리콘 산화막 공정조건 최적화에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
CF₄/O₂ 혼합기체 플라즈마를 이용한 이산화 우라늄의 표면식각반응
한국표면공학회지
1999 .04
플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
1차원 유체모델을 이용한 CF₄ RF 플라즈마의 과도응답 특성
전기학회논문지 C
2004 .01
반응성 플라즈마를 이용한 금속코발트의 표면 식각 반응 연구
한국방사성폐기물학회 학술대회
2007 .01
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )
전자공학회지
1979 .03
NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
평판형 RF 플라즈마에서 축방향 자장이 플라즈마 물성 및 식각에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
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