ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

ECRPCVD 방법으로 증착한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 광학 및 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the optical and Electrical Characteristics of Hydrogenated Amorphous Silicon Films Prepared by ECRPCVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

수소화된 비정질 실리콘의 전기적 , 광학적 특성 및 그 응용 ( Photoconductive propertics of hydrogenated amorphous silicon film and its application )

김정섭 ,  오상광 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 전기 및 광학특성에 대한 붕소의 도핑효과

김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

수소화된 비정질 실리콘 박막의 광도전성 ( The Photoconductivity of Hydrogenated Amorphous Silicon )

권오선 ,  박기철 ,  이승수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

평판 표시기를 위한 수소화된 비정질실리콘 박막트랜지스터의 제작 ( Fabrication of Hydrogenated Amorphous Silicon Thin-Film Transistors for Flat Panel Display )

김남덕 ,  김충기 ,  최광수 외 2명

전자공학회논문지

1987 .05

붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성 ( Photoconductive Properites of B-doped Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Films )

박욱동 ,  박기철 ,  박창배 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

수소화된 비정질 실리콘 n+ -p -p+ 태양전지에서 최적 기판온도의 결정 ( Optimum Substrate Temperature for Hydrogenated Amorphous Silicon n+ -p -p+ Cells )

이이상 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )

이경하 ,  전정목 ,  이태진 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .05

비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비

김창조 ,  최윤 ,  김도천 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 ( λc-Si : H ) 박막 증착 ( The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon ( λc-Si : H ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method )

이정철 ,  송진수 ,  박이준

전자공학회논문지-SD

2000 .08