Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

LOW-TEMPERATURE FORMATION OF HIGH-QUALITY ULTRA-THIN GATE OXIDE BY REMOTE PLASMA-ENHANCED CVD ( REMOTE PECVD ) PROCESS

S. S. Kim ,  G. Lucovsky

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Plasma CVD 에 의한 DLC 박막 제작시 수소가스의 영향

문양식 ,  이재성 ,  이해승 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

플라즈마 CVD에 의한 고전압 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제작

李愚宣 ,  姜龍哲 ,  金亨坤

전기학회논문지

1994 .02

FA-CVD에 의한 미세결정질 실리콘 박막 제작 및 특성 ( Characterization and Fabrication of Microcrystalline Si Thin Films Prepared by FA-CVD )

정창영 ,  정관수 ,  장진

전자공학회논문지

1990 .09

Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process

Hi ,  oshi Fujiyama ,  Masano 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RP-CVD로 제작된 고전계 효과 이동도 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 ( High Mobility a-Si:H Thin Film Transistor Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  유순성 ,  장진

전자공학회논문지-A

1992 .06

ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

3실 광 CVD법에 의한 고효율의 비정질 실리콘 태양전지 제작

임굉수

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles

Masaha ,  u Shi ,  atani 외 8명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비

김창조 ,  최윤 ,  김도천 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구

이상현 ,  예길촌 ,  백운승 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11