지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 266 - 267 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2009
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문에서는 As-doped ZnO 박막의 플라즈마 식각 특성 및 메커니즘에 관하여 실험을 수행하였다. p-type과 n-type ZnO 박막의 식각 실험은 유도 결합 플라즈마 식각 장비(i ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
-
Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
-
Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
-
평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성
전기학회논문지 C
1999 .09
-
자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성
전기학회논문지 C
2000 .04
-
유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
-
SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
-
BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
전기학회논문지
2007 .03
-
유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
-
BCl₃/Ar 플라즈마에 따른 TiO₂ 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
-
ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
-
유도결합 플라즈마를 이용한 (Bi4-xLax)Ti₃O₁₂ 박막의 식각 손상
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
-
평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각에서 공정 변수가 저항성 접촉 형성에 미치는 영향
전기학회논문지 C
2000 .08
-
고밀도 플라즈마를 이용한 p-type ZnO 박막의 건식 식각 메커니즘 연구
대한전자공학회 학술대회
2014 .06
-
유도결합형 플라즈마를 이용한 ITO 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .05
-
BCl3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구
전기전자재료학회논문지
2013 .01
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과
전기학회논문지 C
1999 .06
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향
이효창
,
정진욱
한국진공학회 학술발표회초록집
2012
.02
간단한 RF 보상 정전탐침법을 이용한 유도결합형 플라즈마 특성 연구
김윤기
,
위성석
,
김태환
외 3명
대한전기학회 학술대회 논문집
2011
.07
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
조태훈
,
윤명수
,
손찬희
외 7명
한국진공학회 학술발표회초록집
2011
.02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
이재원
,
최익진
,
이영광
외 1명
한국진공학회 학술발표회초록집
2011
.02
평판형유도결합플라즈마의 임피던스특성 측정 및 수치해석
양일동
,
이호준
,
황기웅
대한전기학회 학술대회 논문집
1994
.11
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-018483288