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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.1
- 수록면
- 119 - 123 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1994
1993
SiO2 위에 MBE(Molecular Beam Epitaxy)로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구
황장원
,
류명관
,
김기범
대한전자공학회 학술대회
1993.11
학술대회자료
SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구 ( A Study on the Crystallization Behaviors of Amorphous Si1-xGex Films Deposited by MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) on SiO2 and on their Microstructures after annealing )
황장원
,
류명관
,
김기범
대한전자공학회 학술대회
1993.11
학술대회자료
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SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구 ( A Study on the Crystallization Behaviors of Amorphous Si1-xGex Films Deposited by MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) on SiO2 and on their Microstructures after annealing )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
SiO2 위에 MBE(Molecular Beam Epitaxy)로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
SiO2 위에 증착한 비정질 Si / Si1-xGex / Si 박막의 고상결정화시의 성장거동 및 미세구조에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
-
a-Si / a-Si1-xGex 박막의 고상 결정화 온도에 따른 성장거동 및 미세구조에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
-
비정질 Si1-XGeX의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )
한국통신학회 학술대회논문집
1997 .01
-
비정질 Si1-xGex의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )
한국통신학회 공개발표회 및 토론회
1997 .01
-
MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
The Growth of Dislocation Free Relaxed Si1-xGex Buffers on Compositionally Graded Layers by Molecular Beam Epitaxy
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
-
Si-MBE로 중착시킨 다결정 SiGe의 $SiO_2$ 위에서의 성장거동및 미세구조
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
MBE의 제작 및 Si 박막 성장
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
-
Si1-xGex / Si 구조에서의 Hall 이동도 ( Hall Mobility in Si1-xGex / Si Structure )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
-
THE GROWTH , PROPERTIES AND APPLICATIONS OF Si1-xGex ALLOYS
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
-
저온 Si 에피택시 박막의 결정화 거동 및 미세구조에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
Si-xGex P-MOSFET 단채널효과의 해석학적 모델 ( An Analytical Model of Short Channel Effects of Si1-xGex P-MOSFETS )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
-
g-Value Calculation in Amorphous Si1-xGex Alloys
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
-
Solid source Si MBE를 이용하여 Si(100) 기판위에 저온에서 성장된 SiGe 박막의 결정 구조 변화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
Kinetics and Microstructure During Solid Phase Crystallization of Amorphous Si / Si1-xGex Bilayer on SiO2
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
-
축적된 Ge층이 Si1-xGex / Si의 산화막 성장에 미치는 영향 ( The Effects of Piled up Ge-rich Layer on the Oxide Growth of Si1-xGex / Si Epitaxial Layer )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
-
MBE
대한전자공학회 단기강좌
1986 .01
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