a-Si / a-Si1-xGex 박막의 고상 결정화 온도에 따른 성장거동 및 미세구조에 관한 연구

김홍승 ,  이정용 ,  송윤호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

비정질 Si1-XGeX의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )

김홍승 ,  이정용

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .01

비정질 Si1-xGex의 고상결정화에 따른 결함 형성과 결정 성장 기구 ( Defect Formation and Crystal Growth Mechanism on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Si1-xGex Thin Films )

김홍승 ,  이정용

한국통신학회 공개발표회 및 토론회

1997 .01

Si1-xGex / Si 구조에서의 Hall 이동도 ( Hall Mobility in Si1-xGex / Si Structure )

강대석 ,  신창호 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구

황장원 ,  류명관 ,  김기범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

축적된 Ge층이 Si1-xGex / Si의 산화막 성장에 미치는 영향 ( The Effects of Piled up Ge-rich Layer on the Oxide Growth of Si1-xGex / Si Epitaxial Layer )

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구 ( A Study on the Crystallization Behaviors of Amorphous Si1-xGex Films Deposited by MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) on SiO2 and on their Microstructures after annealing )

황장원 ,  류명관 ,  김기범

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

Kinetics and Microstructure During Solid Phase Crystallization of Amorphous Si / Si1-xGex Bilayer on SiO2

Myung Kwan Ryu ,  Jin Won Kim ,  Tae Hoon Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

THE GROWTH , PROPERTIES AND APPLICATIONS OF Si1-xGex ALLOYS

S. S. Iye

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

D. C. 전압 인가에 의한 Pd-SnO_x-Si₃N₄-SiO₂-Si-Al 캐패시터의 산소흡착/탈착 반응

이재홍 ,  이주헌 ,  김창교

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Si1-xGex / Si 이종접합구조에서의 격자이완성

황윤택 ,  이형재 ,  이정근

대한전자공학회 학술대회

1995 .01