열응력에 따른 Au / Pt / Ti / GaAs Schottky 접촉의 파괴기구 ( The Failure Mechanism of Au / Pt / Ti / GaAs Schottky Contacts due to Thermal Stress )

문재경; 이종람; 김해천; 박형무

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문재경 이종람 김해천 박형무

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권

발행연도: 1995.1

수록면: 443 - 444 (2page)

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