Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향

김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Co/Ti/Si계를 이용한 정합 $CoSi_2$형성시 삼원계 화합물을 통한 Co 확산 제어에 관한 연구

김기범 ,  이성만 ,  백홍구

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Co/Ti 박막을 이용한 (100)Si기판위에 $CoSi_2$형성연구

이승헌 ,  신동원 ,  박찬경 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Co/Ti 이중막을 이용한 $CoSi_2$의 형성

홍성수 ,  송진태 ,  엄우용 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Co 두께가 CoSi2 에피박막 형성에 미치는 영향 ( Effects of Co Thickness on the Formation of Epitaxial CoSi2 Thin Film )

김종렬 ,  배규식

전자공학회논문지-D

1997 .01

반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 $CoSi_2$ 박막의 형성 및 성장에 관한 연구

이화성 ,  이희승 ,  안병태

한국재료학회지

2000 .01

Co/Ti이중박막을 이용한 $CoSi_2$에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

반응성 금속유기화학증착법에 의한 Si(100)기판 위에서 epitaxial $CoSi_2$ layer의 in situ 성장

이화성 ,  이희승 ,  박종호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

EPITAXIAL GROWTH OF $CoSi_2$ ON SILICON OXIDE WHICH WAS CHEMICALLY GROWN ON Si(100).

Kim ,  Ki-Jo ,  Jeon 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoN 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi 성장 연구

이승렬 ,  김선일 ,  안병태

한국재료학회지

2006 .01

FORMATION MECHANISM OF EPITAXIAL CoSi$_2$ IN EX-SITU Ti-CAPPING OME PROCESS

Kim ,  Gi-Bum ,  Kwan 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Formation Mechanism of Epitaxial CoSi2 using Oxide-Interlayer

김기범 ,  곽준섭 ,  백홍구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

$CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철 ,  심현상 ,  정연실 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

중간층 Ti 두께에 따른 CoSi의 에피텍시 성장

정성희 ,  송오성

한국재료학회지

2003 .01

Si(200)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구

허진화 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

(100)Si에서 Co/Ta bilayer metal을 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장에 관한 연구

변정수 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

코발트 / 탄탈륨 이중금속박막-Si ( 001 ) 의 반응과 CoSi2 에피층의 성장 ( Reaction of Cobalt / Tantalum Bilayer Metal with Si ( 001 ) and Formation of epitaxial CoSi2 )

변정수 ,  강석봉 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

FORMATION MECHANISM OF EPITAXIAL COS$i_2$ USING Co/Ti/Si SYSTEM

Kim ,  Kim ,  G.B. 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

화학적 산화막을 이용한 epitaxial $\textrm{CoSi}_2$형성과 계면구조

신영철 ,  배철휘 ,  전형탁

한국재료학회지

1998 .01