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반응성 화학기상증착법에 의해 다결정실리콘 위에 직접성장된 $CoSi_2$ 층의 열적안정성의 개선
한국재료학회지
2001 .01
반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoN 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi 성장 연구
한국재료학회지
2006 .01
반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 $CoSi_2$ 박막의 형성 및 성장에 관한 연구
한국재료학회지
2000 .01
Growth of Epitaxial CoSi2 using Co / Ti / Si System
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Thermal Stability of epitaxial $CoSi_2$ layer on (100) Si substrate from cobalt-carbon film deposited by MOCVD
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Si(200)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구
한국재료학회지
2003 .01
Co 두께가 CoSi2 에피박막 형성에 미치는 영향 ( Effects of Co Thickness on the Formation of Epitaxial CoSi2 Thin Film )
전자공학회논문지-D
1997 .01
코발트 / 탄탈륨 이중금속박막-Si ( 001 ) 의 반응과 CoSi2 에피층의 성장 ( Reaction of Cobalt / Tantalum Bilayer Metal with Si ( 001 ) and Formation of epitaxial CoSi2 )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi$_2$ 에피층 성장
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
(100)Si에서 Co/Ta bilayer metal을 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
기판에 따른 CoSi$_2$의 열적안정성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
화학적 산화막을 이용한 epitaxial $\textrm{CoSi}_2$형성과 계면구조
한국재료학회지
1998 .01
$CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성
한국재료학회지
1998 .01
FORMATION MECHANISM OF EPITAXIAL CoSi$_2$ IN EX-SITU Ti-CAPPING OME PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Formation Mechanism of Epitaxial CoSi2 using Oxide-Interlayer
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Co/Ti/Si계를 이용한 정합 $CoSi_2$형성시 삼원계 화합물을 통한 Co 확산 제어에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Co/Ti 박막을 이용한 (100)Si기판위에 $CoSi_2$형성연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
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