STUDY ON SENSING CHARACTERISTICS OF $WO_3$ THIN FILMS DEPOSITED BY R.F. SPUTTERING FOR $NO_{X\x}$ GAS

Yoon ,  Young-Soo ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 WO₃/Ag/WO₃ 투명전극의 전기ㆍ광학적 특성 연구

강동수 ,  이붕주 ,  권홍규 외 1명

전기학회논문지

2014 .11

Post-annealing Effect of N-incorporated WO₃ Films for Photoelectrochemical Cells

Kwang-Soon Ahn

청정기술

2009 .09

전기증착법으로 제조된 WO3 박막의 광촉매 특성

강광모 ,  정지혜 ,  이가인 외 4명

한국분말야금학회지

2019 .01

WO₃ 후막형 센서의 H₂S 감응특성

김한수 ,  한상도 ,  김선태

대한환경공학회 학술발표논문집

2001 .12

WO₃ Thin Film의 CMP 특성

고필주 ,  이우선 ,  최권우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

Thermal evaporation 법으로 제조된$WO_3$ 박막과 Pd-$WO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

김광호 ,  박진성

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

WO₃막의 특성에 미치는 산소가스 유량 및 열처리 효과

이동희 ,  최복길 ,  최원석 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

WO₃를 이용한 반도체 산화물 특성 분석

박정현 ,  방정현 ,  이돈규

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

수소 센서용 Pd 첨가한 WO3 박막의 특성

최광표 ,  박진성 ,  권용 외 1명

센서학회지

2006 .01

볼밀시간에 의한 WO:InO 가스센서의 감응특성

신덕진 ,  유윤식 ,  박성현 외 1명

한국재료학회지

2011 .01

스퍼터링법에 의해 제작된 WO₃ 박막의 광분해 특성

이붕주

한국산학기술학회 논문지

2016 .07

RF 스퍼터 증착과 후속 열처리에 의한 Na0.6WO3 박막의상형성 거동과 전기전도 특성

이승현 ,  선호정

전기전자재료학회논문지

2014 .01

박막내 AIN 함량이 $(Ti_{1-x}Al_x)N$ 박막의 미세구조와 미세경도에 미치는 영향

박종관 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

EFFECT OF THE MICROSTRUCTURE ON THE $NO_{x}$ AND HUMIDITY SENSING CHARACTERISTICS OF $WO_3$ THIN-FILM SENSORS

Yoo ,  Kwang-Soo ,  Oh 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01