여러 탄화조건에 따라 성장된 단결정 3C-SiC 박막의 특성

심재철 ,  정귀상

전기전자재료학회논문지

2010 .01

Heteroepitaxial Growth by MBE

강태원 ,  임재영

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

HETEROEPITAXIAL GROWTH OF HIGH QUALITY $Y_2O_3$ FILM ON AMORPHOUS $SiO_2$ LAYER

Cho ,  M.H. ,  Whangbo 외 15명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Hydrogen Effects on Heteroepitaxial Growth of Ge Films on Si ( 111 ) Surfaces by Solid Phase Epitaxy

H. Ikeda ,  A. Muto ,  M. Okada 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

The Growth Mechanism of 3C-SiC ( 111 ) Thin Film on si ( 111 ) Substrate

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  Y. H. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Influence of Carbonization Conditions in Hydrogen Poor Ambient Conditions on the Growth of 3C-SiC Thin Films by Chemical Vapor Deposition with a Single-Source Precursor of Hexamethyldisilane

김강산 ,  정귀상

센서학회지

2013 .01

비정질 p-SiC/i-Si/n-Si 박막 태양전지의 특성에 대한 i-SiC 완충층의 영향

신혁재 ,  김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

비정질 p-SiC/i-SiC/i-Si/n-Si 박막 태양전지에서 i-SiC 완충층의 역할

김현철 ,  신혁재 ,  이재신

한국재료학회지

1999 .01

Si(100)기판상에 3C-SiC결정성장

정연식 ,  정귀상 ,  Shigehi 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

TMS를 이용한 SiC 나노박막의 성장연구

양재웅

한국표면공학회지

2005 .08

HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  한기봉

전기전자재료학회논문지

2007 .01

유기실리콘화합물 원료를 이용한 $\beta$-Sic 단결성 박막 성장 및 버퍼층의 역할

방욱 ,  최연식 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

다공성 SiC-Si 복합체의 전기비저항에 미치는 Si 첨가량의 영향

전신희 ,  이원주 ,  공영민

한국재료학회지

2015 .01

Al-Si/$SiC_p$ 복합재료에서 SiC의 편석에 미치는 응고 조건의 영향

김종찬 ,  권혁무

한국주조공학회지 (주조)

1997 .01

$SiC/Si_3N_4$ 하이브리드 복합체이 제조 및 특성

강종봉 ,  조범래 ,  이수영

한국재료학회지

1996 .01

Growth and Characterization of a-Si :H and a-SiC:H Thin Films Grown by RF-PECVD

Y. T. Kim ,  S. J. Suh ,  D. H. Yoon 외 8명

한국표면공학회지

2001 .10