furnace 열처리와 질소 플라즈마 처리에 의한 유기화학증착법을 이용한 선택적 구리 증착 ( Selective Cu-MOCVD by Furnace Annealing and N2 Plasma Pretreatment )

곽성관 ,  정관수

전자공학회논문지-SD

2000 .03

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과

최정환 ,  변인재 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

Effects of Post-Annealing on the Characteristics of MOCVD-Cu / TiN / Si Structures by the Rapid Thermal Process

Youn Tae Kim ,  Chi Hoon Jun ,  Jong Tae Baek 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Computer Modeling of the Continuous Annealing Furnace

Sung Ho Jeong ,  Joon Jeong Yi ,  Jong Keun Kim 외 1명

KSME International Journal

1991 .05

Computer Modeling of the Continuous Annealing Furnace

Sung Ho Jeong ,  Man Yeong Ha ,  Joon Jeong Yi 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1990 .01

Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구

이재창 ,  신웅철 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Annealing and Post Heat Treatment Effects of Remote Plasma MOCVD Titanium Barrier Metals

장영학 ,  원석준 ,  김종욱 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

열처리 조건에 따른 MOCVD Cu 박막의 특성 변화

김동원

한국재료학회지

1997 .01

Ti와 $SiO_2$상에서의 MOCVD Cu의 성장

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Cu-MOCVD를 위한 TiN기판의 플라즈마 전처리

이종무 ,  임종민 ,  박웅

한국재료학회지

2001 .01

High-Quality and High Deposition Rate of MOCVD Cu by the Additional H2 Gas

이종현 ,  박병남 ,  김재호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Selectivities of MOCVD -Cu Films on Different Substrate

곽성관 ,  김영석 ,  김용태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구

오준환 ,  이성욱 ,  이종무

한국재료학회지

2001 .01

Growth of c-axis Superconducting YBCO Films on Cu Substrate Using Cu-Free MOCVD Process

Kim ,  Young-Ha ,  Kim 외 11명

한국초전도학회 학술대회

2009 .01

MOCVD 방식으로 증착한 Cu 박막의 Electronmigration 특성

이정환 ,  이원석 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY

Lee ,  Jae-Gab ,  Cho 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01