공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과

최정환 ,  변인재 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Ti와 $SiO_2$상에서의 MOCVD Cu의 성장

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Selectivities of MOCVD -Cu Films on Different Substrate

곽성관 ,  김영석 ,  김용태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Growth of c-axis Superconducting YBCO Films on Cu Substrate Using Cu-Free MOCVD Process

Kim ,  Young-Ha ,  Kim 외 11명

한국초전도학회 학술대회

2009 .01

MOCVD 방식으로 증착한 Cu 박막의 Electronmigration 특성

이정환 ,  이원석 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Effect of Source Composition Ratio on YBCO Deposition by a MOCVD Process

Sun ,  J.W. ,  Jun 외 3명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2003 .01

Cu 배선공정을 위한 MOCVD-TaN 확산방지막의 개발

조성래 ,  신동우 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOCVD법에 의한 AI 박막의 증착속도 분포에 대한 수치모사

정원영 ,  김도현

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

A STUDY ON DEPOSITIONS OF Cu AND CuSe THIN FILMS USING MOCVD FOR CIGS SOLAR CELL APPLICATION

Joo Hyung PARK ,  Kang Sik SHIN ,  Jae Ho YUN 외 4명

AFORE

2014 .11

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 박막의 증착특성 연구

변인재 ,  서범석 ,  양희정 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Transport and Deposition in MOCVD for Thin Film Fabrication of High Temperature Superconductors

G ,  eg H. Evans ,  Ralph G 외 1명

Heat Transfer Conference

1998 .08

MOCVD 법에 의해 증착 된 coated conductor용 $YBa_{2}$$Cu_{3}$$O_{7-x}$의 증착조건

선종원 ,  전병혁 ,  김찬중

한국초전도저온공학회 학술대회

2003 .01

수평형 MOCVD 반응기 내의 InP 필름성장 제어인자에 대한 영향 평가

임익태

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .11

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

표성규 ,  김헌도 ,  김삼동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01