다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법

전명철; 김진원; 김기범; 김용상; 한민구

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 전명철 김진원 김기범 김용상 한민구

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권

발행연도: 1995.1

수록면: 53 - 54 (2page)

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