화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성

정순원 ,  조민재 ,  김광호

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

고주파방전 스퍼터링에 의한 이산화티타늄 박막제작과 광전소자 응용

김상곤 ,  박희대 ,  곽동주 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .04

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

반응성 스퍼터링 조건에 따른$ Al_2O_3$박막의 유전특성 및 누설전류 특성

최재훈 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

DC 반응성 스퍼터링된 TiN 박막의 구조적 및 전기적 특성 ( Structural and Electrical Properties of Reactively Sputtered Titanium Nitride Films )

류성룡 ,  오원웅 ,  최진석 외 6명

전자공학회논문지-A

1992 .08

반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화

이호윤 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

고 결정질 산화티타늄-산화규소 하이브리드 박막 제조 방법과 광촉매 특성에 관한 연구

엄현진

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .05

저온산화 반응으로 제조된 Titanium Oxide 박막의 미세구조

박인수 ,  이기선

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

고온스퍼터링법으로 제작된 티타늄실리사이드의 구조적 전기적 특성 연구

이세준 ,  김두수 ,  성규석 외 8명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절

이태호 ,  이규한 ,  안진호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

스퍼터링 조건이 티탄산화물박막의 전기적 착색 특성에 미치는 영향

이길동

한국태양에너지학회 논문집

2006 .12

Characteristics of Ti-O-N thin film prepared by reactive magnetron sputtering

Tae Woo Kim ,  Jang Sick Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05