대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

대면적 플라즈마 공정을 위한 ferrite module을 이용한 U-type 내장형 선형 유도결합 플라즈마 소스에 관한 연구

홍승표 ,  임종혁 ,  권광호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향

이홍식 ,  노영수 ,  김윤택

전기의세계

1994 .03

대면적 LCD용 ICP소스에 대한 수치 해석적 분석

이주율 ,  이영직 ,  이강환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

대면적 LCD용 ICP소스에 대한 수치 해석적 분석 ( A Numerical Analysis on the Development of ICP Source for Large Area LCD )

이주율 ,  이영직 ,  이강환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

콘버어터 직병렬 접속 운전에 관한 연구

鄭然澤 ,  徐英洙 ,  黃樂壎

전기학회논문지

1984 .09

보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어

방진영 ,  조성원 ,  김아람 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

직병렬형 8비트 고속 A / D 변환기의 설계 ( Design of parallel-series type 8-bit high speed A / D converter )

정명수 ,  김태형 ,  이우일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

직병렬형 8비트 고속 A/D 변환기의 설계

정명수 ,  김태형 ,  이우일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

내장형 선형 안테나를 이용한 대면적 유도결합형 플라즈마 소스에 관한 연구

박정균 ,  임종혁 ,  김경남 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

10㎸A 급 직병렬 보상형 무정전 전원 장치

전성즙 ,  조규형

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구

김홍범 ,  이형철 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04