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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007년도 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2007.4
수록면
99 - 100 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링
양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료
3D ICP에 2turn parallel antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 및 etching 균일도 모델링
양원균 ,  주정훈 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2007.01 학술대회자료

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유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 CVD 장치에서 플라즈마를 발생시키기 위한 안테나의 구조는 매우 중요하다. 전자 온도와 전자 밀도에 직접적인 영향을 주게 되며, 뿐만 아니라 증착 물질의 두께 균일도 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구
김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .11

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