지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택 산화막 식각 ( A High Selectivity Oxide Etching with a Helicon Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
헬리콘 플라즈마 물성특성 및 식각응용에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
약한 자장을 사용하는 평면형 유도결합 플라즈마의 식각 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
자화된 플라즈마의 특성 및 식각에의 응용
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
헬리콘 플라즈마원의 특성
한국표면공학회지
1999 .12
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
상압플라즈마의 응용 현황
기계와 재료
1997 .01
Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
상압 플라즈마의 생성과 응용
인포메이션 디스플레이
2014 .01
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
헬리콘 플라즈마 원을 이용한 우주 추진체의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응
한국방사성폐기물학회 학술대회
2012 .01
직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
전기학회논문지
1990 .11
흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
비대칭 아크 플라즈마의 온도 분포 측정
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2004 .05
대기 오염 물질 제어를 위한 방전 플라즈마의 응용
조명·전기설비
2008 .12
SiO₂ 식각을 위한 판형 Low Angle Forward Reflected Neutral Beam 식각장치에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
이온에너지분석에 의한 ECR 플라즈마의 특성및 식각특성 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
0