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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.15 No.5
- 발행연도
- 2015.10
- 수록면
- 533 - 538 (6page)
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Thermal characterization of individual pixels in microbolometer infrared image sensors is needed for optimal design and improved performance. In this work, we used thermoreflectance microscopy on uncooled microbolometer image sensors to investigate the thermal characteristics of individual pixels. Two types of microbolometer image sensors with a shared-anchor structure were fabricated and thermally characterized at various biases and vacuum levels by measuring the temperature distribution on the surface of the microbolometers. The results show that thermoreflectance microscopy can be a useful thermal characterization tool for microbolometer image sensors.
목차
Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. MATERIALS AND METHODS
Ⅲ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅳ. CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (13)
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[학술지(정기간행물)] - J. L. Tissot / 2004 / IR detection with uncooled focal plane arrays. State of the art and trends / Opto- Electron. Rev 12 (1) : 105 ~ 109
[학술지(정기간행물)] - R. K. Bhan / 2009 / Uncooled Infrared Microbolometer Arrays and their Characterisation Techniques / Def. Sci. J 59 (6) : 580 ~ 589
[학술지(정기간행물)] - F. Niklaus / 2007 / MEMSbased uncooled infrared bolometer arrays – A Review / Proc. of SPIE 6836 : 68360D ~
[학술지(정기간행물)] - J. J. Yon / 2008 / Latest amorphous silicon microbolometer developments at LETI-LIR / Proc. of SPIE 6940 : 69401W ~
[학술지(정기간행물)] - P. Eriksson / 1997 / Thermal characterization of surface-micromachined silicon nitride membranes for thermal infrared detectors / J. Microelectromech. Syst 6 (1) : 55 ~ 61
[학술지(정기간행물)] - R. K. Bhan / 2009 / Uncooled Infrared Microbolometer Arrays and their Characterisation Techniques / Def. Sci. J 59 (6) : 580 ~ 589
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[학술지(정기간행물)] - J. J. Yon / 2008 / Latest amorphous silicon microbolometer developments at LETI-LIR / Proc. of SPIE 6940 : 69401W ~
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