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ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
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ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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ECR-PECVD방법으로 중착된 탄탈릅 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
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ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
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PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
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ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
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RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
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ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR-PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
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상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
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ECR PECVD법을 이용한 PLZT박막 제조
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
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Effects of Deposition Parameters on Composition , Structure , Resistivity and Step Coverage of Tin Thin films Deposited by ECR-PECVD
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
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PECVD법으로 증착된 DLC film의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
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PECVD법에 의한 DLC박막의 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
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LPCVD, PECVD, ECR Plasma CVD를 이용한 SiN막질의 비교
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
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PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
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