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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD법으로 증착된 DLC film의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD법에 의한 DLC박막의 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Magnetron PECVD 에 의한 DLC 박막의 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
PECVD법에 의한 DLC박막의 보조가스 첨가에 따른 광학적 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
한국정보통신학회논문지
2007 .11
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
PECVD법의 의한 나노결정체 다이야몬드 박막의 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
버퍼층을 갖는 ZnS 기판상에 PECVD 방식으로 형성된 DLC 박막의 기계적, 광학적 특성에관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성
한국안광학회지
2004 .11
RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD로 합성한 다이아몬드상 카본박막의 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
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