기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착

차남구 ,  이강국 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구

김준우 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .08

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti_1-xAl_x)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가

이승훈 ,  임주완

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD법으로 증착시킨 a-SiC:H 박막의 열처리온도 변화에 따른 특성분석

박문기 ,  최원석 ,  김인준 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane(ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)

박종민 ,  공병선 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성

정선영 ,  김현기 ,  주성후

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

PECVD 법으로 형성된 $Ta_{2}O_{5}$ 유전박막의 전기적 특성에 미치는 급속 후속 열처리의 영향

한성욱 ,  이재석 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성

김대년 ,  김기홍 ,  김혜동

한국안광학회지

2004 .11

$N_2O$ gas pre-treatment 효과에 의한 PECVD 산화막 특성

최재식 ,  한상용 ,  김형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06