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기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )
전자공학회논문지-A
1993 .08
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
한국정보통신학회논문지
2007 .11
플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti1-xAlx)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
PECVD법으로 증착시킨 a-SiC:H 박막의 열처리온도 변화에 따른 특성분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane(ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2011 .04
PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )
전자공학회논문지-A
1992 .08
PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
PECVD 법으로 형성된 $Ta_{2}O_{5}$ 유전박막의 전기적 특성에 미치는 급속 후속 열처리의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성
한국안광학회지
2004 .11
$N_2O$ gas pre-treatment 효과에 의한 PECVD 산화막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용
대한전자공학회 학술대회
1999 .06
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