Novel synthesis of nanocrystalline thin films by design and control of deposition energy and plasma

Jeon G. Han

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jeon G. Han (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 77 - 77 (1page)

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#Plasma #particle energy #nc-Si film #Si quantum dot #crystalline C film

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한전건

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-420-002445275

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