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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.2
- 수록면
- 196 - 196 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (6)
2019
A study on electrical characteristics of poly-Si thin film using neutral particle showering deposition with gas treatment
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2019.02
학술대회자료
A study on deposition temperature dependence of poly-Si thin film using Neutral Particle Showering Deposition
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2019.02
학술대회자료
2018
A study on gas treatment time effect of NC-Si:H thin film using neutral particle showering deposition
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2018.08
학술대회자료
A study on bias dependence and uniformity of Nc-Si:H thin film using neutral particle showering deposition
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2018.08
학술대회자료
A study on He annealing effect in crystalline characteristics of Nc-Si:H thin film using neutral particle showering deposition
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2018.02
학술대회자료
A study on crystalline characteristics of Nc-Si:H thin film using neutral particle showering deposition
김현기
,
최병덕
한국진공학회 학술발표회초록집
2018.02
학술대회자료
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Optimizing a CVD-based Crystallization Process Using Neutral Particle Showering Deposition for Flexible Display
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2020 .11
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Novel synthesis of nanocrystalline thin films by design and control of deposition energy and plasma
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2016 .02
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In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO<sub>2</sub>/Si
Carbon letters
2017 .01
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Parametrized Phase Shift Model Analysis for 350 MeV 7Li Elastic Scattering on 12C and 28Si
새물리
2020 .01
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Raman 측정에 의한 육방정계 Si 단결정의 상 변화 특성 해석
새물리
2021 .10
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Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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Magnetic-Field-Dependent Spatial Configuration of Erosion and Deposition of a-C:H Thin Films in an ECR Chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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ECR plasma heating parameters in mirror and cusp configurations
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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Energy deposition modeling and design of plasmas processes for synthesis of nano-structured film materials
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
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Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
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Correlation Between Microstructure and Optical Properties of In-Si-O Thin Films Grown Using RF Sputtering Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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Single-Particle Characterization of Atmospheric Particles Collected at Three Places in Jeju Island, Korea using Low-Z Particle EPMA and Raman Spectrometry
한국대기환경학회 학술대회논문집
2020 .10
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Ca/Si(111)-2x1에서 에피성장을 통한 Si단결정 성장가능성에 관한 Si원자의 흡착과 확산에 대한 전산모사연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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ICP-AES를 이용한 Al-Si-C 중 Si분석방법
한국분석과학회 학술대회
2016 .05
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DC 열 플라즈마를 이용한 Cu, Fe 나노 입자 합성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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진공공간 내 나노급 오염입자의 실시간 진단시스템 개발
진공이야기
2015 .09
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VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
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