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Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Synthesis of silicon nitride thin film for high permeation barrier performance with RF power variation on hollow cathode RF PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
N₂O plasma growth ultra-thin tunnel oxide layer passivation by PECVD for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Silicon nitride deposition by VHF (162 MHz)-PECVD using a multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
표면 패시베이션 향상을 위한 이종접합 태양전지 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
ALD-Al2O3 막의 열처리 및 플라즈마 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Realization of efficient barrier performance of a silicon nitride film simply via plasma chemistry
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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