RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O₅ 박막의 광학적 특성평가

이병우; 김태훈; 김하술

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이병우 (전남대학교) 김태훈 (전남대학교) 김하술 (전남대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.8

수록면: 231 - 231 (1page)

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#V₂O< #SUB> #5< #/SUB> #RF 마그네트론 스퍼터링 #IR detector

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이병우

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