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김철웅 (부산대학교) 조영현 (삼성전자) 이해준 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
118 - 118 (1page)

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#Magnetron sputtering #Particle-in-cell Monte Carlo Simulation

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