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저자정보
김동균 (동명대학교) 김종윤 (동명대학교) 이현섭 (동명대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제32권 제2호
발행연도
2016.4
수록면
50 - 55 (6page)

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Recently, a double-side machining process has been adopted in fabricating a sapphire glass to enhance the manufacturability. Double-side lap grinding (DLG) is one of the emerging processes that can reduce process steps in the fabrication of sapphire glasses. The DLG process uses two-body abrasion with fixed abrasives including pallet. This process is designed to have a low pressure and high rotational speed in order to obtain the required material removal rate. Thus, the temperature is distributed on the DLG platen during the process. This distribution affects the shape of the substrate after the DLG process. The coolant that is supplied into the cooling channel carved in the base platen can help to control the temperature distribution of the DLG platen. This paper presents the results of computational fluid dynamics with regard to the heat transfer in a DLG platen, which can be used for fabricating a sapphire glass. The simulation conditions were 200 rpm of rotational speed, 50°C of frictional temperature on the pallet, and 20°C of coolant temperature. The five cases of the coolant flow rate (20~36 l/min) were simulated with a tetrahedral mesh and prism mesh. The simulation results show that the capacity of the generated cooling system can be used for newly developed DLG machines. Moreover, the simulation results may provide a process parameter influencing the uniformity of the sapphire glass in the DLG process.
#double-side lap grinding (양면 랩그라인딩) #sapphire glass (사파이어 글라스) #heat transfer (열전달) #temperature distribution (온도분포)

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석모델
3. 수치해석
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References

참고문헌 (8)

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Kim, H., Manivannan, R., Moon, D., Xiong, H., Park, J., “Evaluation of double sided lapping using a fixed abrasive pad for sapphire substrates”, Wear, Vol. 302, pp. 1340-1344, 2013. google schola Yang, W. Y., Sung, I. H., “Study on Within-Wafer Non-uniformity Using Finite Element Method”, J. Korean Soc. Tribol. Lubr. Eng., Vol. 28, No. 1, pp. 7-11, 2012. google schola Lee, T. K., Kim, H. J., Jo, H. H., Ryu, H. Y., Jeong, H. D., “Study on the Effect of a Platen Flatness on the Shape of a Wafer in Mechanical Lapping of Sapphire”, Proc. Autumn Conference of KSPE, pp. 113-114, 2010. google schola Deshpande, L. S., Raman, S., Sunanta, O., Agbaraji, C., “Observations in the flat lapping of stainless steel and bronze,” Wear, No. 265, pp. 105-116, 2008. google schola Molenda, J., Barylski, A., “The influence of abra-sive machine on temperature during one side lapping,” J. KONES Power and Trans., Vol. 17, No. 2, pp. 357-362, 2001. google schola

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